几乎没有哪个行业的技术进步能像半导体行业这样迅速。在器件尺寸不断缩小的同时,性能要求却持续提高,因此需要更精密且更具成本效益的加工工艺。例如,对晶圆和面板在背面减薄后的全表面检测,就对降低成本和质量保证起到了重要作用。
晶圆背面 减薄
晶圆背面磨削
面板 级封装
面板级封装
纳米级快速粗糙度与波纹度测量
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测量 600 x 600 mm² 面板的粗糙度与翘曲