OptoSurf 检验与测量标准

为检查传感器和测量系统的功能，OptoSurf 提供自主开发的检验标准。这些标准既有通用型号，也有针对特定测量方案设计的型号。使用 OptoSurf 软件可快速便捷地执行参考测量，并自动保存测量记录。

用于精密测量技术的高精度标准

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CS3 检验标准套件

CS3 检验标准套件用于检查散射光传感器是否正常工作并进行校准。套件包含两个粗糙度标准，分别对应传感器的测量上限和下限。下限为 Aq ≈ 1.6，对应 Ra 值小于 0.001 μm，可与触针轮廓仪的平面玻璃测量相比，用于检测功能和系统噪声。套件还配有用于传感器校准的光阱。

波纹标准

WS 300 波纹标准用于校准 OptoShaft 测量设备。该标准精度高，适合验证小振幅（0.1 μm）的高阶波纹（300 阶）。配合 OS 500 散射光传感器和精密旋转台，振幅测量重复性的标准偏差可低于 1 nm。