OptoScan
X-Y 测量台系统
OptoScan X-Y 测量装置非常适合对平面类工件进行全表面测量，主要应用于纹理分析、波纹度分析、形状测量、光泽测量和缺陷检测。借助高精度定位系统与 OS 500 散射光传感器的组合，该系统能够可靠检测纳米级的形状偏差。测量台可通过 OptoSurf 软件便捷控制，测量结果也可在 SW 3D 软件中直接显示。
标准配置下可测量最大 110 x 100 mm² 的工件。高精度轴由直线电机驱动，测量速度最高可达 500 mm/s。由于散射光传感器对距离变化不敏感，轴系中的微小机械误差不会影响结果，因此在形状测量中可实现 100 mm 范围内小于 0.1 微米的直线度偏差检测。粗糙度与波纹度测量分辨率可达 1 nm。
