OptoScan 600 测量机专为半导体领域的大尺寸面板测量而开发。同时也可在批量生产中测量薄膜或平面零件，例如抛光工具或镜面件。

适用于洁净室的 OptoScan 600 测量系统可测量最大 600 x 600 mm² 的区域。系统提供多种测量程序，包括 X/Y 方向线扫、局部和全表面测量、粗糙度评估（Aq，或经过前期相关性校准后的 Ra、Rz）、形状测量和波纹度测量。该系统可选择配置 Metapor 真空吸盘或无吸盘版本，最大进给速度为 600 mm/s。